证券日报网讯华特气体11月18日在互动平台回答投资者提问时表示，公司已在特种气体领域生产出高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯八氟环丁烷、高纯三氟甲烷、稀混光刻气、高纯全氟丁二烯等超55个产品并实现了国内同类产品的进口替代。公司秉持“技术立企、创新驱动”的发展理念，聚焦先进制程应用气体材料、高纯碳氢类、硅基前驱体等高端产品技术攻关与产业化工作，满足14nm及以下先进制程半导体制造的需求，提升公司在高端电子特气领域的自主研发能力。
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